Filmetrics 3D光學(xué)輪廓儀是用于對各種精密器件表面進(jìn)行納米級測量的儀器，它是以白光干涉技術(shù)為原理，光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測表面反射回來，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。
Filmetrics 3D光學(xué)輪廓儀具有3倍於于其成本儀器的次納米級垂直分辨率， Profilm3D 同樣使用了現(xiàn)今高分辨率之光學(xué)輪廓儀的測量技術(shù)包含垂直掃描干涉（VSI）及相移干涉（PSI）。
Profilm3D的解析力
=每臺Profilm3D帶有直觀的粗糙度，表面形貌和臺階高度的測量軟件。所有常見如ISO 25178 所規(guī)范的粗糙度參數(shù)都支持，也包括軟件功能用于形貌分析，如形狀去除和波長過濾，都包含在基本Profilm3D軟件。對于更進(jìn)階的功能，F(xiàn)ilmetrics提供了我們的合作伙伴TrueGage的TrueMap軟件可進(jìn)一步處理 Profilm3D數(shù)據(jù)，這當(dāng)然也與業(yè)界其他標(biāo)準(zhǔn)分析軟件兼容。
大視場
The Profilm3D以10倍物鏡優(yōu)異地提供更寬廣的2毫米視野，其數(shù)位變焦功能有助于緩解不同應(yīng)用時切換多個物鏡的需要。更進(jìn)一步減少總體成本。也提供手動或自動物鏡切換炮塔等配置可彈性運用于需使用多物鏡應(yīng)用之樣。
